SEMI AUTO PROBE STATION은 R&D 특성 평가에서부터 양산제품의 특성 모니터링을 통한 분석용장치로, 웨이퍼 수동로딩 후 자동으로 연속측정하고 계측기와 연동하여 측정결과 데이터를 자동로깅하는 시스템으로, 디바이스의 개발단계는물론 양산 디바이스의 공정특성 평가용으로도 널리 활용되고 있습니다.
최근 와이솔이라는 국내업체의 연구소에 납품되어 제품평가 및 공정특성 평가용으로 활용되고 있습니다.
미국 CASECAD사보다 가격경쟁력이높은 제품이며, 써모척이 설치되어 온도 특성까지 평가 가능합니다.
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